微型濕度傳感器芯片

自主研發(fā)的微型濕度傳感器，芯片面積?。?/font>3mm3mm），響應速度快（30%-70%RH階躍變化的響應時(shí)間最短為0.8s），制作工藝簡(jiǎn)單（只需兩步光刻工藝），感濕介質(zhì)廉價(jià)、已獲取、長(cháng)期穩定性好，便于大批量生產(chǎn)。適合于工作溫度在室溫~200℃范圍的便攜式消費電子與、農業(yè)、氣象、汽車(chē)等場(chǎng)合的濕度檢測應用。

技術(shù)負責人：王鎖民  生命科學(xué)學(xué)院